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沈天慧

 

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沈天慧

    半导体化学家 1923年4月27日生于浙江嘉善,籍贯浙江杭州,2011年1月2日逝世。1949年毕业于上海大同大学化工系。1957年至1959年赴苏联进修。上海交通大学教授。1980年当选为中国科学院学部委员(院士)。

    参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966-1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺,研制出大规模集成电路数种,当时在国内处于领先地位。1987年后,从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作,已制出直径为2mm的微马达。

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